SJ 2794-1987 电子级氢
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基本信息
| 标准名称： | 电子级氢 |
| 英文名称： | Electronic grade Hydrogen |
| 中标分类： | 综合 >> 标准化管理与一般规定 >> 技术管理 |
| 发布部门： | 中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： | 1987-04-06 |
| 实施日期： | 1988-01-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 2010-01-20 |
| 提出单位： | 中国电子学会洁净技术学会 |
| 起草单位： | 电子工业部标准化研究所 |
| 起草人： | 尹恩华、赵长春、周定华 |
| 出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版日期： | 1988-01-01 |
| 页数： | 4页 |
适用范围
本标准适用于半导体材料、分立器体和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氮，按其使用要求电子级氢，分为三级，代号为：电子Ⅰ级氮代号为：DZN2-Ⅰ；电子Ⅱ级氮代号为：DZN2-Ⅱ；电子Ⅲ级氮代号为：DZN2-Ⅲ。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 综合 标准化管理与一般规定 技术管理
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